氮气纯化设备以深冷法制氮、PSA变压吸附制氮，氮膜分离制氮的普通氮气为原料，经过加氢催化除氧，冷凝、吸附二级干燥，过滤，除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃，获得高纯度的氮气。
用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时，可通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1%时，则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，则采用化学除氧工艺方法。
高纯氮气广泛应用于电子、冶金、化工、热处理、化纤、食品等部门，有些热处理工艺需要在氮气中加入一定比例的氢气时，可提供自动加氢装置。
氮气纯化设备先将原料氢气加热后，使其进入装有钯催化剂的除氧器。在除氧器中氢气中的微量氧与氢气在催化剂作用下，发生氢氧反应生成水汽O2+2H2→2H2O，再经冷凝除水达到除氧之目的。经除氧、除水后的氢气再经装有分子筛的干燥器进行深度吸附干燥处理。从而获得含水量、含氧量极低的高纯氢气。
氮气纯化设备的主要特点：
1.工艺流程简单、除氧深度深、露点低；
2.电气装置按隔爆要求设计；
3.运行成本低，设备投资少；
4.操作方便、维护简便；
5.可靠性高。
高纯氮气指标：
1.压力：0.5-0.6Mpa(可调)；
2.常压露点≤－70℃；
3.氧含量≤3ppm；
4.氢含量：500-2000ppm；
5.氮气量：10-5000Nm3/hr。
